Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Αποθηκεύτηκε σε:
| OCLC: | 46160907 |
|---|---|
| Κύριος συγγραφέας: | |
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
| Γλώσσα: | German |
| Έκδοση: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
|
| Μορφή: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |