Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Gespeichert in:
| OCLC: | 46160907 |
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| 1. Verfasser: | |
| Körperschaft: | |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
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| Format: | Abschlussarbeit Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |