Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Uloženo v:
| OCLC: | 46160907 |
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| Hlavní autor: | |
| Korporativní autor: | |
| Jazyk: | German |
| Vydáno: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
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| Médium: | Diplomová práce Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |