Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Zapisane w:
| OCLC: | 46160907 |
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| 1. autor: | |
| Korporacja: | |
| Język: | German |
| Wydane: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
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| Format: | Praca dyplomowa Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Opis fizyczny: | 179 p. |
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| Miejsce wydania: | Switzerland. |