Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
保存先:
| OCLC: | 46160907 |
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| 第一著者: | |
| 団体著者: | |
| 言語: | German |
| 出版事項: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
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| フォーマット: | 学位論文 Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| 物理的記述: | 179 p. |
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| 出版地: | Switzerland. |