Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Guardado en:
| OCLC: | 46160907 |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Lenguaje: | German |
| Publicado: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
|
| Formato: | Tesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Descripción Física: | 179 p. |
|---|---|
| Lugar de publicación: | Switzerland. |