Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
Saved in:
| OCLC: | 46160907 |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Institution som forfatter: | |
| Sprog: | German |
| Udgivet: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
|
| Format: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Fysisk beskrivelse: | 179 p. |
|---|---|
| Place of Publication: | Switzerland. |