Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits /
محفوظ في:
| OCLC: | 46160907 |
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| المؤلف الرئيسي: | |
| مؤلف مشترك: | |
| اللغة: | German |
| منشور في: |
Switzerland :
Universität Zürich,
1990.
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| التنسيق: | أطروحة Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| وصف مادي: | 179 p. |
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| مكان النشر: | Switzerland. |