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Sarott, F. (1990). Kinetik und Mechanismus der Silizium-Abscheidung in einer Niederdruckentladung und Kontrolle der strukturellen und physikalischen Eigenschaften des Deposits. Universität Zürich.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Sarott, Flurin-Andry. Kinetik Und Mechanismus Der Silizium-Abscheidung in Einer Niederdruckentladung Und Kontrolle Der Strukturellen Und Physikalischen Eigenschaften Des Deposits. Switzerland: Universität Zürich, 1990.

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Sarott, Flurin-Andry. Kinetik Und Mechanismus Der Silizium-Abscheidung in Einer Niederdruckentladung Und Kontrolle Der Strukturellen Und Physikalischen Eigenschaften Des Deposits. Universität Zürich, 1990.