High-rate reactive magnetron sputter deposition and characterization of metal oxide films /
Αποθηκεύτηκε σε:
OCLC: | 47068374 |
---|---|
Κύριος συγγραφέας: | |
Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
Γλώσσα: | English |
Έκδοση: |
Uppsala :
Acta Universitatis Upsaliensis,
2000.
|
Σειρά: | Acta Universitatis Upsaliensis. Comprehensive summaries of Uppsala dissertations from the Faculty of Science and Technology ;
520. |
Θέματα: | |
Μορφή: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |