Grundlagen für die röntgentiefenlithographische Herstellung eines planaren Wellenlängen-Demultiplexers mit selbstfokussierendem Reflexionsbeugungsgitter /
Saved in:
| OCLC: | 46817625 |
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| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Language: | German |
| Published: |
Karlsruhe :
KfK,
1990.
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| Series: | KfK (Series) ;
4702. |
| Subjects: | |
| Format: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |
| Item Description: | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Fak. f. Maschinenbau, Diss., 1989. - Mit engl. Zsfassung. |
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| Physical Description: | 95 S : graph. Darst. |
| Place of Publication: | Germany. |