Versuche zur Synthese potentieller Precursoren fur die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrommolybdän und Wolframsiliciden /
Kaydedildi:
| OCLC: | 52137843 |
|---|---|
| Yazar: | |
| Müşterek Yazar: | |
| Dil: | German |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Germany :
Universität zu Köln,
1993.
|
| Materyal Türü: | Tez Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |