Versuche zur Synthese potentieller Precursoren fur die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrommolybdän und Wolframsiliciden /
保存先:
| OCLC: | 52137843 |
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| 第一著者: | |
| 団体著者: | |
| 言語: | German |
| 出版事項: |
Germany :
Universität zu Köln,
1993.
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| フォーマット: | 学位論文 Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |