Versuche zur Synthese potentieller Precursoren fur die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrommolybdän und Wolframsiliciden /
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OCLC: | 52137843 |
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Auteur principal: | |
Collectivité auteur: | |
Langue: | German |
Publié: |
Germany :
Universität zu Köln,
1993.
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