Versuche zur Synthese potentieller Precursoren fur die CVD-Abscheidung von Bornitrid, Siliciumnitrid sowie Chrommolybdän und Wolframsiliciden /
Guardat en:
OCLC: | 52137843 |
---|---|
Autor principal: | |
Autor corporatiu: | |
Idioma: | German |
Publicat: |
Germany :
Universität zu Köln,
1993.
|
Format: | Thesis Monograph Note that CRL will digitize material from the collection when copyright allows. |